惯性步进扫描器控制接口的设计

• 作者: 丁喜冬 杜贤算
• 来源期刊: 中山大学研究生学刊：自然科学与医学版
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描器 设计 控制接口 步进 惯性 扫描隧道显微镜(STM) 前置放大电路 接口电路 隧道电流 驱动电路 表面形貌 高分辨率 高稳定性
• 年，卷（期）: zsdxyjsxkzrkxyyxb,（2）
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: TP334.22

摘要

本文介绍了一种采用惯性步进型扫描器的新型扫描隧道显微镜(STM)的设计，研制出了一种用于该扫描器的接口电路。文章重点对该扫描器的位置粗调驱动电路和隧道电流前置放大电路等接口进行了设计，并完成了该接口的制作和调试，最后在使用该接口电路的新型STM上扫描出具有较高分辨率的镀金铜的表面形貌。测试表明，该接口工作稳定，使用方便，并能发挥该惯性步进型扫描器高稳定性的优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁喜冬	中山大学物理系	18	60	5.0	6.0
2	杜贤算	中山大学物理系	4	7	2.0	2.0