多段可编程双脉冲电镀电源

• 作者: 庞克俭 康卫
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多段 双脉冲 电镀电源 原理
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TG153
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.08.006

摘要

讲述了多段可编程双脉冲电镀电源与传统双脉冲电源的不同,软硬件结构,工作原理

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康卫	中国电子科技集团公司第十三所	4	11	2.0	3.0
2	庞克俭	中国电子科技集团公司第十三所	3	65	3.0	3.0