采用梯形棱镜波前分割的激光干涉光刻技术

• 作者: 冯伯儒 刘娟 张锦
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉光刻 波前分割 光刻技术 微细加工
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 325-326,338
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 1477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2005.05.012

摘要

光学光刻技术在微细加工和集成电路(IC)制造中一直是主流技术.随着IC集成度的提高,要求越来越高的光刻分辨力,但光学光刻的分辨极限受光刻物镜数值孔径(NA)和曝光波长(λ)的限制.激光干涉光刻技术具有高分辨、大视场、无畸变、长焦深等特点,其分辨极限为λ/4,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等领域有广阔的应用前景.阐述了激光干涉光刻技术的基本原理.提出了一种采用梯形棱镜作为波前分割元件的激光干涉光刻方法.建立了相应的曝光系统,该系统可用于双光束、三光束、四光束和五光束等多光束和多曝光干涉光刻.给出了具有点尺寸约220nm的周期图形阵列的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘娟	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	43	249	9.0	13.0
2	张锦	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	26	204	8.0	13.0
3	冯伯儒	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	30	293	9.0	16.0