重掺杂硅单晶中氧的热行为及内吸除效应科研项目通过鉴定

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篇名	重掺杂硅单晶中氧的热行为及内吸除效应科研项目通过鉴定
来源期刊	河北工业大学学报	学科
关键词
年，卷（期）	2005,（2）	所属期刊栏目	学术活动信息
研究方向		页码范围	38
页数	1页	分类号
字数	609字	语种	中文
DOI