压电陶瓷微致动器的制作及驱动行为研究

• 作者: 杨文言 荆阳 雒建斌
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机电一体化技术 PMN-PZT 压电陶瓷 硬盘驱动器 微致动器 双级伺服系统
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 77-81
• 页数: 5页
• 分类号: TH7|TN4
• 字数: 1637字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2005.01.017

摘要

制作一种新型压电陶瓷微致动器,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位.该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料,采用烧结成型工艺,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成,然后进行了退极化性能等分析.此外,建立了一种有限元简化模型并分析其驱动能力.结果显示,当采用双层结构的压电微致动器时,在外加电压±30 V作用下,悬臂自由端位移和谐振频率分别达到0.93μm和20.425 kHz,表明该致动器满足硬盘驱动器对微致动器位移/电压灵敏度、谐振频率等要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨文言	清华大学摩擦学国家重点实验室	19	375	10.0	19.0
2	雒建斌	清华大学摩擦学国家重点实验室	96	1802	22.0	37.0
3	荆阳	清华大学摩擦学国家重点实验室	6	37	4.0	6.0