Pb(Zr0.3Ti0.7)O3热释电薄膜材料研究

• 作者: 张万里 张树人 彭家根 汪红兵 钟朝位
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: PZT薄膜 射频磁控溅射 非制冷红外焦平面 探测器阵列
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 405-408
• 页数: 4页
• 分类号: TB39|O484
• 字数: 2938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2005.06.002

摘要

利用射频磁控溅射法对0.8Pb(Zr0.3Ti0.7)O3+0.2PbO的陶瓷靶进行溅射,在5英寸的TiOx/Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PZT薄膜.实验表明,PZT薄膜的取向由(111)到(100)的改变可以通过精确控制基片温度来实现.(111)取向的薄膜具有良好的介电、铁电和热释电性能,其剩余极化强度、介电常数、介电损耗、矫顽场和热释电系数分别为20μC/cm2,370,1.5%,130kV/cm和1.1×10-8C/cm2K,该薄膜可望在非制冷红外焦平面探测器阵列中得到应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟朝位	电子科技大学微电子与固体电子学院	49	326	8.0	16.0
2	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
3	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
4	彭家根	电子科技大学微电子与固体电子学院	10	25	4.0	5.0
8	汪红兵		1	5	1.0	1.0