厚度效应对Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜微结构、铁电、介电性能的影响

• 作者: 吴斌 杨德军 梁龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: PZT薄膜 铁电性质 介电性质
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 523-527
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.05.019

摘要

用改进的溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了不同厚度的高度(111)取向的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜.运用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的微结构,原子力显微镜表明厚度为0.3μm和0.56μm的PZT薄膜的晶粒尺寸和表面粗糙度分别为0.2～0.3μm、2～3μm和0.92nm、34nm.0.3μm和0.56μm PZT薄膜的剩余极化(Pr)和矫顽场(Ec)分别为32.2μC/cm2、79.9kV/cm, 27.7μC/cm2 、54.4 kV/cm;在频率100KHz时,薄膜的介电常数和介电损耗分别为539、0.066,821、0.029.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴斌		2	8	2.0	2.0
2	梁龙	北京航空材料研究院先进复合材料国防科技重点实验室	1	5	1.0	1.0