Mg掺杂Ba(Zr0.25Ti0.75)O3薄膜的介电调谐性能

• 作者: 吴敏 周生刚 孙小华 李修能
• 来源期刊: 三峡大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: BZT薄膜 Mg掺杂 溶胶凝胶 介电调谐性能
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 91-94
• 分类号: TB34|TB43
• 字数: 1941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-948X.2010.04.023

摘要

采用溶胶凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了Mg掺杂Ba(Zr0.25Ti0.75)O3(BZT)薄膜.利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析测定了物相微结构和薄膜表面形貌,研究了Mg掺杂含量对BZT微结构和介电调谐性能的影响.结果表明Mg掺杂BZT使薄膜表面粗糙度、晶粒尺寸、介电常量、介电损耗和调谐量都降低;5mol%Mg掺杂BZT薄膜有最大的优值因子为16.3,其介电常数、介电损耗和调谐量分别为289.5、0.016和26.8%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙小华	三峡大学机械与材料学院	26	91	5.0	8.0
2	吴敏	三峡大学机械与材料学院	15	44	4.0	6.0
3	李修能	三峡大学机械与材料学院	5	13	2.0	3.0
4	周生刚	三峡大学机械与材料学院	2	5	1.0	2.0