液态金属离子源发射系统的电场计算

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 液态金属离子源 模拟电荷法 发射系统 动态喷流柱
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 20-26
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 3070字
• 语种: 中文

摘要

针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计算,结果表明,该方法计算精度高,非常适合于电子束、离子束系统发射极附近电场的计算.