等离子体对低温定向生长碳纳米管的作用

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 化学
• 关键词: 碳纳米管 等离子体 扩散
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: O631.71
• 字数: 2401字
• 语种: 中文

摘要

利用负偏压增强热丝化学气相沉积在低衬底温度(550℃)下催化生长了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它的生长过程,发现低温下碳纳米管能否定向生长依赖于等离子体功率,同时还发现碳纳米管在压强太低时不能够生长.结合有关理论分析,结果表明,当等离子体功率较大时,等离子体形成的强电场对催化剂颗粒的作用导致了碳纳米管的定向生长;而低压下碳纳米管不能够生长是由于碳粒子扩散太快的缘故.