铀表面Ti/Al复合镀层中Ti膜表面氧化结构研究

• 作者: 吕学超 杨江蓉 白彬 陆雷 鲜晓斌
• 来源期刊: 中国腐蚀与防护学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ti镀层 热氧化 电子能量损失谱 铀
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 171-175
• 页数: 5页
• 分类号: TG172.6+3
• 字数: 3545字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4537.2005.03.009

摘要

采用电子能量损失谱(EELS)和俄歇电子能谱(AES)研究了铀表面磁控溅射离子镀Ti/Al复合镀层中Ti膜在6.5×10-6PaO2、150℃～400℃和0.05 MPa O2、200℃～500℃环境中表面化学结构变化,并与块状金属Ti的行为进行了比较.结果表明,Ti膜表面结构随着氧化温度和氧分压而变化.在0.05 MPa O2足氧气氛中,在200℃～500℃下氧化时,Ti膜与块状金属Ti表面形成的氧化物均为TiO2.在6.5×10-6Pa O2环境中,在较高温度(400℃)下由于表面缺氧Ti膜表面仅形成TiO,在较低温度下(≤250℃)由于O的扩散速度降低,Ti膜逐步向TiO、Ti2O3、TiO2转变,最后在表面形成了TiO2.O在Ti膜中的扩散速度较块状金属Ti明显加快.结合热力学对Ti膜氧化物结构变化进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲜晓斌		47	280	10.0	12.0
2	吕学超		29	121	6.0	9.0
3	陆雷		19	54	5.0	6.0
4	白彬		35	150	8.0	10.0
5	杨江蓉		1	1	1.0	1.0