微机械非制冷红外热电堆探测器

• 作者: 梁平治 蔡小五 马斌
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热电堆 红外 微电子机械系统 热电材料
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.01.008

摘要

近年来,非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一,详细介绍了几种现阶段流行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料,并介绍了近几年来热电堆探测器的发展情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁平治	中国科学院上海技术物理研究所	28	252	9.0	15.0
2	马斌	中国科学院上海技术物理研究所	22	129	7.0	10.0
3	蔡小五	中国科学院上海技术物理研究所	15	38	4.0	5.0