利用频闪成像方法进行微机电系统的计量

• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微机电系统 频闪成像 同步控制 运动表征
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 299-303
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 4009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.04.003

摘要

为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运动.系统利用高亮度LED和LD作为脉冲光源,有效冻结MEMS器件的面内和离面运动,能在从静止状态到1MHz很宽的频率范围内对MEMS器件进行表征,达到了纳米级分辨力.通过实验对一个微谐振器进行了三维运动测量,在扫频和扫幅两种工作模式下,配合强大的数据分析软件,给出器件运动的幅频和相频特性曲线,为分析器件的动态性能提供了可靠数据.