电铸工艺对工具电极材料抗电蚀性能的影响研究

• 作者: 明平美 曲宁松 朱健 朱荻 贾世星
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细电火花加工 电铸 准LIGA 电极损耗
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 591-595
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 3625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.05.026

摘要

提升基于准LIGA工艺制作的微细电火花加工工具电极材料的耐电蚀能力,是准LIGA-Micro EDM组合加工高深宽比三维微结构可靠实现的重要研究内容.论述了该组合加工的技术优势及其工艺路线,理论分析了电铸电极材料电蚀性的影响因素,试验研究了电沉积工艺参数和操作条件如添加剂种类及其添加量、电流密度、温度等对电铸铜工具电极电蚀能力的影响.结果表明,组合添加适量明胶和Cl-,在适当的电流密度和温度等工作条件下,电铸出的铜工具电极在微细电火花加工中表现出超强的耐电蚀能力,重量相对损耗为0.3%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
2	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
3	曲宁松	南京航空航天大学机电学院	95	905	19.0	24.0
4	贾世星		20	158	8.0	11.0
5	明平美	南京航空航天大学机电学院	17	404	12.0	17.0