用灰阶编码掩模制作折/衍混合微光学元件

• 作者: 肖啸
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 混合光学 灰阶编码 消色差
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 系统与器件
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: O439
• 字数: 2095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2005.02.015

摘要

设计了消色差的折/衍混合微光学元件的灰阶掩模,该掩模对光刻过程中的畸变进行了预校正,并给出了模拟计算的的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖啸	乐山师范学院物理与电子信息科学系	22	95	4.0	9.0