压电薄膜微致动器的制作和有限元分析

• 作者: 易晓星 荆阳 雒建斌 黄朋生
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 硬盘驱动器 压电微致动器 锆钛酸铅多层膜 双级伺服系统
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 618-621
• 页数: 4页
• 分类号: TP333.3
• 字数: 2337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2005.05.011

摘要

为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器.该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶-凝胶技术制作而成.对该致动器进行了实验测试和有限元分析.结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396 μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	易晓星	中国科学院声学研究所	3	10	2.0	3.0