微光机电陀螺微致动器设计与有限元分析

• 作者: 冯丽爽 刘惠兰 单志刚 林恒 王广龙
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微光机电系统 陀螺 致动器 压电陶瓷 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 567-570
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.008

摘要

提出了一种锆钛酸铅(PZT)薄膜微致动器的结构模型.该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电(MOEMS)陀螺微镜进行位移和角度的精确定位.建立了该致动器的简化模型并利用有限元方法分析其驱动能力.结果显示,当采用双层结构的PZT薄膜微致动器时,在外加电压50 V作用下,环形PZT位移控制器中心位移可达到0.345 μm;十字形角度控制器偏转角度可达3.29″,增加PZT薄膜的层数可以进一步增加致动器对微镜位移和角度的控制能力.通过对仿真结果进行分析可以得出结论,选用多层PZT薄膜材料制成的微致动器能够满足调整微镜位移和角度所需的范围和精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	85	462	12.0	19.0
2	林恒	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	22	102	7.0	10.0
3	刘惠兰	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	29	156	6.0	12.0
4	单志刚	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	3	3	1.0	1.0
5	王广龙	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	6	39	3.0	6.0