一种静电驱动微机械变形反射镜

• 作者: 闫金良
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 变形镜 微电子机械系统 薄膜 静电驱动
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 551-554
• 页数: 4页
• 分类号: TN256|TH703.8
• 字数: 2614字
• 语种: 中文

摘要

以ANSYS软件的有限元分析为依据对变形反射镜结构模型进行研究,探讨各主要结构参数及驱动电压对变形位移的影响.考虑静电驱动力、张力和空气阻尼衰减对变形镜回复过程的影响,建立一种复合参数模型来预测变形镜的瞬态行为.结果表明,驱动器的弹性薄板厚度、跨度和电极间距明显影响变形位移;驱动器的变形位移随驱动电压的增加出现稳定的非线性增加和不稳定的"拉入"现象;驱动电压撤除后镜面回复时间短,重复性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫金良	烟台师范学院物理系	17	39	4.0	5.0