基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术

• 作者: 谭久彬 金鹏
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 陶瓷微加工技术 微型火箭 微型动力系统 高温特性
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳操作装配及微电池技术
• 页码范围: 1233-1234,1242
• 页数: 3页
• 分类号: TN305|V434
• 字数: 1146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.004

摘要

采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0
2	金鹏		15	98	5.0	9.0