UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关

• 作者: 刘刚 熊瑛 田扬超 陈光焱 黄新龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA SU-8光刻 加速度触发开关 牺牲层技术
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1152-1158
• 分类号: TN405|TM564
• 字数: 3833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101805.1152

摘要

微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件.本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关.研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微细加工的工艺细节;分析了多种牺牲层材料的特性,优选了与工艺相适应的Zn牺牲层体系,解决了微结构易脱落的工艺问题.通过优化微电铸工艺来减小金属膜层的内应力,优化牺牲层释放工艺来避免腐蚀过程对弹簧膜结构的冲击.实验结果表明,通过工艺优化可得到平整的微型螺旋形弹簧-质量块结构,螺旋弹簧厚度为20 μm,质量块厚度达200 μm,本文的工作可为大批量、低成本地研制微型加速度开关提供工艺基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
2	熊瑛	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	13	48	4.0	6.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
4	陈光焱	中国工程物理研究院电子工程研究所	23	219	10.0	13.0
5	黄新龙	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	3	49	3.0	3.0