基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 微结构器件 SU-8胶 光刻 微细电铸
• 年，卷（期）: 2006,（21）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 2216-2220
• 页数: 5页
• 分类号: TM5
• 字数: 3170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.21.005

摘要

试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数.试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬		54	480	14.0	18.0
3	明平美		39	222	9.0	13.0
7	胡洋洋		16	221	9.0	14.0