基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究

• 作者: 成杰 朱荻 李寒松
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 超声 辅助
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 电气与自动化/Electric and Automation
• 页码范围: 163-166
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.6
• 字数: 3031字
• 语种: 中文

摘要

光栅在通信、光存储及光谱分析领域具有广泛的应用。对超声辅助UV-LIGA技术制备光栅的可行性进行了试验研究。试验中两次利用超声的特殊效应，实现不同的辅助功能。1)采用超声辅助显影，通过改善光刻胶模沟槽内的物质传输，提高光刻胶模结构的显影效率和显影质量。2)在后烘之后、显影之前对光刻胶结构进行超声处理，通过在空气中对光刻胶模结构进行超声处理，有效降低SU-8胶模在电铸过程中的溶胀。选取优化的工艺参数，采用侧向冲液电铸方式，获得了镍基光栅。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点试验室	237	3580	30.0	43.0
2	李寒松	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点试验室	42	294	10.0	15.0
3	成杰	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点试验室	9	13	2.0	3.0