采用UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构

• 作者: 冯进军 唐烨 李兴辉 李含雁 白国栋
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外光刻 电铸和注塑技术 SU8胶模 曝光量 340 GHz折叠波导
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 527-530
• 页数: 4页
• 分类号: TN752
• 字数: 2827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201304.0527

摘要

紫外光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔、电子注通道和输出波导等)的重要方法。采用 UV-LIGA技术制作340 GHz折叠波导慢波结构，研究前烘、曝光量、后烘对 SU8胶模的影响，着重讨论了曝光量的影响并分析其原因，得出最佳工艺。另外，本文还对去胶进行了初步研究，获得了全铜的340 GHz的折叠波导结构。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军		34	163	6.0	11.0
2	李含雁		6	41	5.0	6.0
3	白国栋		3	17	3.0	3.0
4	唐烨		4	27	3.0	4.0
5	李兴辉		4	11	2.0	3.0