220 GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺

• 作者: 伊福廷 刘濮鲲 孙建海 李飞 郝保良 马天军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 折叠波导 UV-LIGA .行波管
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微/纳米制备与测量技术
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN124
• 字数: 607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024101

摘要

真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格.传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,UV-LIGA技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法.用UV-LIGA方法制备真空器件的慢波结构,涉及到两个主要的问题:一是SU8厚胶匀胶过程中如何确保其厚度及其一致性;二是横向贯穿折叠波导中心的电子注通道如何成型.以220 GHz折叠波导为研究对象,针对上述两个问题开展了相关的工艺试验,使用特制的PDMS模具,采用重力匀胶法,实现了大厚度SU8胶匀胶,表面平整,高度一致.在SU8光刻胶中通过专用夹具,嵌入透明有机丝,形成细长电子注通道.而后,采用脉冲电铸电源,在硫酸铜电铸液中电铸,获得了表面平整的无氧铜微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙建海	中国科学院电子学研究所	20	82	6.0	8.0
2	郝保良	中国科学院电子学研究所	18	87	6.0	8.0
3	李飞	中国科学院电子学研究所	160	1494	22.0	32.0
4	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
5	马天军	中国科学院电子学研究所	8	19	3.0	4.0
6	刘濮鲲	北京大学应用电子学研究所	25	83	6.0	8.0