UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 柔性接触探针 SU-8胶 光刻 电铸
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 735-740
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.05.019

摘要

对探针的制作方法、关键工艺环节等进行了分析与研究,给出了基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针的工艺过程,分析了制备的技术关键,试验优选了关键制备环节的工艺参数,在此基础上,制作出微型柔性镍接触探针.试验结果表明:采用工艺条件优选的UV-LIGA技术,如前烘60 ℃,120 min,90 ℃,120 min;较大曝光剂量;后烘65 ℃,10 min,95 ℃,45 min;匀胶后静置、随炉冷却和超声辅助显影等辅助措施,所制备出的柔性接触探针(主体总长4 mm,宽80 μm,高100 μm;弹簧处高宽比为5(100 μm:20 μm))尺寸精度高;三角锥状针尖曲率半径小于5 μm;缺陷少,形貌质量高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬		54	480	14.0	18.0
3	明平美	河南理工大学机械与动力工程学院	39	222	9.0	13.0
7	胡洋洋		16	221	9.0	14.0