UV-LIGA工艺制作微注塑模具型腔

• 作者: 刘冲 刘文开 路学成 马雅丽
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA技术 SU-8胶 微细电铸 微注塑模具型腔
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 材料、机械工程
• 页码范围: 478-483
• 页数: 6页
• 分类号: TH16|TN305
• 字数: 2415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7511/dllgxb201505005

摘要

设计并制作了微注塑模具型腔.利用无背板生长法,采用 UV-LIGA套刻技术和掩膜腐蚀技术,直接在合金钢基底上制作具有微阵列结构、微注塑浇口、微排气通道、排气孔、聚合物熔体流道等结构的微注塑模具型腔.对 SU-8厚胶的光刻工艺参数进行优化,给出厚度350μm的 SU-8胶的建议工艺条件：固定边框厚度进行刮胶；梯度升温前烘,自65℃至85℃每隔5℃间歇式升温,且85℃的烘焙时间为5.5~6.0 h；紫外光接触式曝光,剂量630 mJ/cm2；85℃中烘15 min,显影20 min.针对 Ni微细电铸过程中产生节瘤现象分析原因并改善工艺参数,将电流密度和 pH 分别控制在3 A/dm2以下和3.8~4.4.最终成功获得高质量的微注塑模具型腔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路学成	军事交通学院军事物流系	42	446	13.0	20.0
2	刘冲	大连理工大学机械工程学院	156	1345	17.0	30.0
3	刘文开	军事交通学院军事物流系	14	49	4.0	6.0
4	马雅丽	军事交通学院军事物流系	6	27	3.0	5.0