UV-LIGA技术在制作细胞培养器微注塑模具型腔中的应用

• 作者: 刘冲 刘文开 杜立群 马雅丽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 细胞培养器 UV-LIGA技术 SU-8胶 微注塑模具型腔 微结构
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1228-1233
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7|Q-337
• 字数: 3039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132105.1228

摘要

研究了细胞培养器微注塑模具型腔的制作方法.针对微注塑模具型腔的结构特点,采用UV-LIGA套刻技术,分别通过两次SU-8胶光刻和Ni的微细电铸制作了以合金钢为基底的微结构；然后利用掩膜腐蚀方法在铸层上腐蚀出微排气通道.对SU-8厚胶工艺过程中的溶胀现象、匀胶不平整和去除困难等问题进行分析,提出在掩膜板图形四周增设封闭的宽度为20μm的隔离带来减少图形四周SU-8厚胶体积,改善了该处胶模的热溶胀变形,使铸层的尺寸误差由原来的35μm降低到10μm,300μm高的微柱体侧壁陡直.隔离带的引入有效地提高了铸层图形的尺寸和形状精度.由于采用了刮胶的匀胶工艺和发烟硫酸去除SU-8胶的方法,消除了“边缘水珠效应”,彻底去除了SU-8胶.采用提出的方法可获得铸层质量好,与基底结合强度高的微注塑模具型腔.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜立群	大连理工大学机械工程学院	61	480	13.0	19.0
2	刘冲	大连理工大学机械工程学院	156	1345	17.0	30.0
3	刘文开	军事交通学院军事物流系	14	49	4.0	6.0
4	马雅丽	军事交通学院军事物流系	6	27	3.0	5.0