一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法

• 作者: 苑伟政 霍鹏飞 马炳和
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多端口组件网络 系统级建模 MEMS 硬件描述语言
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 192-194,198
• 页数: 4页
• 分类号: TH7
• 字数: 3564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.02.019

摘要

以多端口组件及其网络的研究作为理论基础,创建了专门针对MEMS的系统级建模方法--用单个组件表示MEMS的各功能结构部件,组件的端口表征与部件有关的各种物理量,依据一定规则联结组件形成的网络表征整个微系统.该方法采用常微分和代数方程描述组件的行为,混合信号硬件描述语言作为组件及其网络的建模语言.以梁为例,阐述了如何建立其行为方程,以得到参数化、可供重用的组件模型.上述研究结合微加速度计的系统级设计应用实例,表明该方法是实现MEMS系统级建模的有效手段,能针对MEMS固有的多能量域耦合行为等进行快速建模与仿真.