全自动探针测试台之关键技术

• 作者: 高慧莹
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 探针测试台 发展 集成电路
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 制造工艺与设备
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TN407
• 字数: 2017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.07.012

摘要

根据国内外半导体产业的发展趋势,分析了ψ200mm全自动探针测试台在中国的发展及所需的相关技术.