基于SOI材料的兵器微电子技术应用分析

• 作者: 安涛 张新 王彩琳 邢昆山 高勇
• 来源期刊: 兵器材料科学与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: SOI材料技术 SOI结构 兵器微电子技术
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 48-53
• 页数: 6页
• 分类号: O47
• 字数: 6474字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-244X.2005.03.015

摘要

随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高勇	西安理工大学自动化学院	189	1184	15.0	26.0
2	王彩琳	西安理工大学自动化学院	43	203	8.0	12.0
3	安涛	西安理工大学自动化学院	50	182	7.0	11.0
4	张新	西安理工大学自动化学院	11	49	4.0	6.0
8	邢昆山		4	12	3.0	3.0