AlN陶瓷的空心阴极等离子烧结工艺研究

• 作者: 张连宝 段成军 王从曾 苏学宽 马捷 高帆
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 学科: 工学
• 关键词: 空心阴极 等离子 烧结 氮化铝(AIN)
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 279-283
• 页数: 5页
• 分类号: TF12
• 字数: 2442字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.04.008

摘要

将空心阴极效应运用于AIN陶瓷的烧结,选用自蔓延高温合成的AIN粉体为原料,用Y2O3-Li2O-CaO(YLC)作为烧结助剂,进行了烧结试验,并探讨了工艺参数的影响.结果表明,空心阴极烧结工艺可制备出致密度高,导热性能好的AIN陶瓷.添加质量分数为5.5%的YLC烧结助剂,在1 700 ℃、保温3h的烧结条件下,获得相对密度为98.9%、热导率为93.8W/(m·K)的AIN烧结体.烧结体断口的SEM照片显示,烧结试样的晶粒生长发育完善,晶粒轮廓清晰,呈尖锐的多面体形状,晶粒大小均匀,孔隙和晶界相少,断裂模式主要为穿晶解理断裂.TEM观测表明,晶界相少,且大部分都缩至三角晶界,AIN晶粒与晶粒接触紧密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马捷	北京工业大学材料科学与工程学院	39	235	9.0	13.0
2	王从曾	北京工业大学材料科学与工程学院	37	306	11.0	16.0
3	苏学宽	北京工业大学材料科学与工程学院	29	361	12.0	18.0
4	张连宝	北京工业大学材料科学与工程学院	25	115	6.0	8.0
5	高帆	北京工业大学材料科学与工程学院	5	33	3.0	5.0
6	段成军	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室	4	24	2.0	4.0