含C源AlN陶瓷基片烧结工艺研究

• 作者: 付斯年 姜宏伟 薄睿恬 郑友进 黄海亮
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 关键词: AlN陶瓷基片 常压烧结 晶相控制 石墨加热体
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 19-21,35
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8236.2018.02.006

摘要

采用石墨发热体高温炉,对流延工艺成型的AlN陶瓷基片进行了几种烧结温度、时间的实验,并与金属发热体常压高温烧结炉烧制的AlN陶瓷基片进行了体积密度、硬度、气孔率、表面形貌和晶体结构的对比.实验表明,石墨发热体高温条件下形成的C源,对AlN陶瓷基片烧结影响不大;高温烧结条件下助剂的烧结作用明显,会提升助剂晶相的含量;可以选择性引导AlN晶面的生长;保持低温烧结条件,有利于保持AlN晶相结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜宏伟	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	29	46	3.0	5.0
2	郑友进	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	54	81	4.0	7.0
3	黄海亮	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	18	26	3.0	4.0
4	薄睿恬	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	付斯年	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	10	25	3.0	4.0