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摘要:
本书论述了化学-力学平面化在半导体器件制造中的重要性,由10位专家学者撰写。
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文献信息
篇名 半导体材料的化学-力学平面化
来源期刊 国外科技新书评介 学科 工学
关键词 平面化 半导体材料 力学 化学 半导体器件 专家学者
年,卷(期) 2005,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 20
页数 1页 分类号 TN304
字数 语种
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李国栋 中国科学院物理学研究所 124 358 10.0 16.0
传播情况
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引文网络
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节点文献
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2005(0)
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研究主题发展历程
节点文献
平面化
半导体材料
力学
化学
半导体器件
专家学者
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外科技新书评介
月刊
北京市海淀区中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
4046
总下载数(次)
93
总被引数(次)
0
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