薄膜外延生长中表面原子过程的动力学研究

• 作者: 左安友 李兴鳌 杨建平 翁祝林
• 来源期刊: 湖北民族学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜生长 表面动力学 原子扩散
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 172-176
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-8423.2005.02.019

摘要

从理论上研究了薄膜生长过程中原子在表面上的各种动力学表现,对原子扩散、原子团扩散、多层膜生长等过程的动力学行为进行了详细的分析,进一步探讨了薄膜生长的微观机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建平	湖北民族学院理学院	27	66	4.0	7.0
2	左安友	湖北民族学院理学院	56	153	6.0	8.0
3	李兴鳌	华中科技大学物理系	32	94	5.0	8.0
7	翁祝林	湖北民族学院理学院	6	26	3.0	5.0