激光化学诱导液相腐蚀新方法

• 作者: 刘娟秀 刘霖 叶玉堂 吴云峰 王昱琳 范超 赵素英
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光辅助腐蚀 光电子 半导体化合物
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 微细加工技术
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2738字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.10.023

摘要

提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法--抗蚀膜掩蔽法.抗蚀膜掩蔽法是指在激光腐蚀中,用抗蚀膜来实现对激光腐蚀区域的控制.理论分析和实验结果都表明,抗蚀膜掩蔽法可以有效地控制激光化学腐蚀的图像形状;因不需要对激光光束进行聚焦,光传播垂直于基片表面,制作出的腐蚀孔侧壁可以具有很高的垂直度;利用激光光束中心区域能量分布近似均匀的特点,使小面积腐蚀区域的腐蚀速率近似相等,腐蚀面内各点没有明显的高度差.因为以上优点,抗蚀膜掩蔽法能克服现有激光腐蚀方法的诸多弊端,简化激光腐蚀工艺,在特殊结构光电器件和光电集成中具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	刘娟秀	电子科技大学电子工程学院	49	264	8.0	13.0
4	刘霖	电子科技大学光电信息学院	73	411	11.0	16.0
5	范超	电子科技大学光电信息学院	21	102	7.0	8.0
6	王昱琳	电子科技大学光电信息学院	25	115	6.0	9.0
7	赵素英	电子科技大学光电信息学院	4	51	4.0	4.0