高精密角度分度测量控制系统的研究

• 作者: 李俊锋 王东生 钱建强
• 来源期刊: 计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 角度分度 圆光栅测量系统 闭环控制 误差修正
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 新技术新仪器
• 页码范围: 17-19,52
• 页数: 4页
• 分类号: TB922
• 字数: 1390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5795.2005.02.006

摘要

研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用了闭环自动控制系统.研究分析了圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对装置分度精度的影响,建立了误差修正模型,通过误差补偿,系统在±5°的角度测量范围内分度控制精度达到±0.2″.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王东生	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	34	467	12.0	20.0
2	钱建强	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	7	85	5.0	7.0
3	李俊锋	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室	1	4	1.0	1.0