SiC薄膜红外及紫外-可见光谱的研究

• 作者: 周祯来 杨宇 毛旭 陈刚 陈长青
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: SiC 傅立叶红外吸收谱 紫外-可见光谱 基本声子组合
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 314-318
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 2108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.04.012

摘要

报道了在单晶Si衬底上采用RF磁控溅射技术异质外延生长SiC薄膜的研究.由傅立叶红外谱用双声子组合法计算出SiC的基本声子能量是TO=0.049 eV,LO=0.048 eV,TA=0.0045 eV,LA=0.0078eV;SiC的所有傅立叶红外吸收峰均可用这些声子能量按不同组合方式得到,并在紫外-可见光谱中,光跃迁引起的吸收或放射的声子的能量也可以用这些基本声子能量按不同方式组合得到.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学化学与材料工程学院	101	377	9.0	12.0
2	毛旭	云南大学化学与材料工程学院	10	75	6.0	8.0
6	陈长青	云南大学化学与材料工程学院	3	21	3.0	3.0
7	周祯来	云南大学化学与材料工程学院	7	49	5.0	7.0
8	陈刚	云南大学化学与材料工程学院	16	68	5.0	7.0