衬底温度对Al2O3薄膜微观组织和电阻率的影响

• 作者: 姚正军 杨和梅
• 来源期刊: 江苏冶金
• 学科: 工学
• 关键词: Al2O3薄膜 基片温度 反应溅射 电阻率
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-6068.2005.06.001

摘要

为了研究衬底温度对Al2O3薄膜表面形貌和绝缘性的影响,用奥氏体不锈钢作衬底,在不同温度下用直流反应磁空溅射法直接衬底Al2O3薄膜.把在室温、100℃,250℃和400℃下衬底的样品,用SEM,EDS,XRD观察分析薄膜的微观组织,用绝缘电阻仪测量薄膜电阻.结果表明:衬底温度升高,薄膜表面晶粒度增大;薄膜电阻率随其温度升高而下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚正军	南京航空航天大学材料科学与技术学院	108	931	17.0	25.0
2	杨和梅	南京航空航天大学材料科学与技术学院	22	95	6.0	9.0