衍射光学元件加工中的对心研究

• 作者: 卢振武 康福增 张云翠 张红鑫 李凤有 赵晶丽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 对准 机械轴 干涉
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.z1.001

摘要

为了解决平凸折衍混合透镜套刻加工中的对准问题,本文设计了一套进行套刻对准的实验路径.以机械轴为参考基准,使掩模板的环带中心和器件球面的对称轴分别与之对准,最终实现套刻过程中掩模板和器件对称轴的对准.最后根据加工实际情况进行了计算,对于口径是92 mm的衍射元件,得到的对准误差为2.125 μm,能够满足系统的要求.采用计算机等辅助手段,可实现亚微米量级的对准精度.