Ⅲ族氮化物紫外探测器及其研究进展

• 作者: 亢勇 张燕 李向阳 李雪 杨辉 汤英文 许金通 赵德刚 龚海梅
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 812-816
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2|TN364+.2
• 字数: 5414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.11.005

摘要

文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用.然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等方面;最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展作了一些评述.