LiPON薄膜结构与电化学性能研究

• 作者: 文九巴 李海涛 秦启宗 赵胜利
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: LiPON 薄膜 结构 PLD
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: TM911
• 字数: 3345字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2005.04.006

摘要

采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法制备了室温离子电导率为1.6×10-6S/cm的LiPON电解质薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)等方法对薄膜的结构和形貌进行表征,讨论了LiPON薄膜的电化学性能与其结构之间的关系.结果表明,该薄膜是一种无针孔、无裂缝、厚度均匀的非晶态结构.N元素插入到Li3PO4中,取代P-O-P和PO3结构中的O使N与P成键形成P-N=P或P-N()P P,增加了薄膜中的网状结构,从而提高了离子电导率.另外,随着N含量增大,LiPON薄膜的室温离子电导率增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	文九巴	河南科技大学材料学院	221	1779	19.0	31.0
2	秦启宗	复旦大学激光所	29	260	10.0	15.0
3	赵胜利	河南科技大学材料学院	60	307	9.0	13.0
4	李海涛	河南科技大学材料学院	8	36	4.0	6.0