多晶硅薄膜太阳电池的研究与进展

• 作者: 刘正义 梁宗存 沈辉 胡芸菲
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 颗粒硅带 化学气相沉积 区熔再结晶
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 200-206
• 页数: 7页
• 分类号: TK514
• 字数: 5586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2005.02.012

摘要

从薄膜的沉积方式和沉积温度以及衬底材料等几方面综合分析了多晶硅薄膜制备工艺的特点及多晶硅薄膜太阳电池的最新研究进展.并以颗粒硅带(SSP)为衬底,采用快热化学气相沉积(RTCVD)法制备了多晶硅薄膜,随后制得的多晶硅薄膜太阳电池的效率达到6.05%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正义	华南理工大学机械工程学院	91	1225	21.0	32.0
2	沈辉	中山大学太阳能系统研究所	121	1808	24.0	37.0
3	胡芸菲	华南理工大学机械工程学院	5	77	3.0	5.0
4	梁宗存	中科院广州能源研究所	2	61	2.0	2.0