基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究

• 作者: 朱龙洋 褚家如 许晓慧 鲁健
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: PZT铁电薄膜 激光多普勒技术 数字锁相
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 658-663
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 3137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.06.006

摘要

应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试.对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级.此外,研究了用溶胶-凝胶技术和溶胶-电雾化技术制备得到的PZT薄膜的电压-位移曲线和压电位移"蝴蝶线",实验结果表明:在5 V直流偏置下测得两种方法制备得到的PZT薄膜的d33压电系数分别为218.7 pC/N和215.8 pC/N,相应的标准偏差分别为12.7和28.6.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
2	鲁健	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	12	125	6.0	11.0
3	许晓慧	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	75	6.0	8.0
4	朱龙洋	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	4	27	3.0	4.0