变截面梁的微电镀研究

• 作者: 刘益芳 吕文龙 孙道恒
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 悬臂梁 变截面 微电镀 一致性
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 404-406
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.144

摘要

介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕文龙		8	63	5.0	7.0
2	孙道恒		81	618	14.0	21.0
3	刘益芳		15	50	3.0	6.0