10keV X射线空间辐照总剂量试验可行性研究

• 作者: 师谦 李斌 李若瑜 罗宏伟
• 来源期刊: 核电子学与探测技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线 60Co 辐照 总剂量试验
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 291-295
• 页数: 5页
• 分类号: TN306
• 字数: 4953字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-0934.2005.03.017

摘要

传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的成本,提高研发效率.从辐射机理和辐射对栅氧化层影响的角度深入地论证了用10keV X射线代替60Co作为总剂量试验辐射源的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗宏伟		16	122	6.0	10.0
2	师谦		11	110	7.0	10.0
3	李斌	华南理工大学微电子学系	128	542	12.0	17.0
4	李若瑜	华南理工大学微电子学系	4	24	3.0	4.0