Casimir力对微加速度计性能的影响分析

• 作者: 冯谦 郭万林
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: Casimir力 微加速度计 电容检测 影响分析
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 499-503
• 页数: 5页
• 分类号: TH11|TH7
• 字数: 3498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2615.2005.04.021

摘要

随着微器件的尺寸日益缩小,有必要评估Caslmir力对微器件性能的影响.本文以微机电系统中常见的微加速度计为对象,建模分析了Caslmir力对其性能的影响.研究表明,Casimir力对微加速度计性能的影响随极板间距离的减小而迅速增大.Casimir力使得微加速度计的最大可检测加速度减小,并且随支撑梁刚度的减小,对灵敏度的影响逐渐增大.当检测电容极板间距离等于400 nm时,Casimir力引起微加速度计的最大可检加速度的降幅达5.89%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭万林	南京航空航天大学纳米科学研究所	93	1177	19.0	28.0
2	冯谦	南京航空航天大学纳米科学研究所	6	88	4.0	6.0