采用分步迭代算法设计制作衍射光学元件

• 作者: 张巍 张晓波 李永平 舒方杰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光学元件 光束整形 均匀照明 分步迭代优化
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1665-1668
• 页数: 4页
• 分类号: TL632|O436
• 字数: 2620字
• 语种: 中文

摘要

结合均匀照明相位器件的设计实例,介绍最新提出的基于迭代框架的优化方法,并应用该方法设计制作了16台阶的衍射光学元件并对其进行了测试,验证了设计原理及方法的正确性,且对加工中可能出现的误差进行了分析和讨论.测试结果验证了采用多台阶相位结构的设计方案能有效提高工艺宽容度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永平	中国科学技术大学物理系	54	616	12.0	23.0
2	张巍	中国科学技术大学物理系	49	254	8.0	14.0
3	张晓波	中国科学技术大学物理系	13	87	5.0	9.0
4	舒方杰	中国科学技术大学物理系	4	46	3.0	4.0