Pb(Sc1/2Ta1/2)O3铁电薄膜的制备及性能研究

• 作者: 刘少波 刘梅冬 姜胜林 曾亦可 李元昕 李艳秋 邓传益
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 Pb(Sc1/2Ta1/2)O3 溶胶-凝胶 铁电性 热释电性
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 142-144,159
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.015

摘要

用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O 5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结构Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(PST)铁电薄膜.该薄膜是研制铁电微型致冷器和非致冷热释电红外焦平面阵列的优选材料.对制备出的PST薄膜进行了介电、铁电和热释电性能测试.测试得到在1 kHz下PST薄膜的介电常数为570,介电损耗为0.02.铁电性能良好,剩余板化强度为3.8～6.0 μC·cm-2,矫顽场为40～45 kV·cm-1.热释电系数为4.0×10-4～20×10-4Cm-2K-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾亦可	华中科技大学电子科学与技术系	65	723	15.0	25.0
2	刘梅冬	华中科技大学电子科学与技术系	41	707	16.0	25.0
3	李艳秋	中国科学院电工研究所	35	388	12.0	18.0
4	姜胜林	华中科技大学电子科学与技术系	101	727	15.0	21.0
5	刘少波	中国科学院电工研究所	11	68	5.0	7.0
6	邓传益	华中科技大学电子科学与技术系	14	94	4.0	9.0
7	李元昕	华中科技大学电子科学与技术系	5	30	2.0	5.0