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在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析
在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析
作者:
朱强
杨树明
王海容
蒋庄德
赵则祥
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
悬臂梁法
微构件
弹性模量
MEMS
纳米压入仪
摘要:
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响.在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量.对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得到其弹性模量为155 GPa±9.5%GPa,与参考文献值符合较好.表明在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量,只有综合这些影响因素后,才能获得有效、准确的弹性模量测量结果.
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文献信息
篇名
在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析
来源期刊
稀有金属材料与工程
学科
工学
关键词
悬臂梁法
微构件
弹性模量
MEMS
纳米压入仪
年,卷(期)
2005,(11)
所属期刊栏目
理化检测
研究方向
页码范围
1842-1845
页数
4页
分类号
TG115.5
字数
2700字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1002-185X.2005.11.040
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
蒋庄德
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
165
1512
18.0
28.0
2
王海容
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
29
262
10.0
15.0
3
朱强
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
7
73
5.0
7.0
4
赵则祥
75
337
10.0
15.0
5
杨树明
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
12
29
3.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(0)
节点文献
引证文献
(10)
同被引文献
(17)
二级引证文献
(25)
2005(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2007(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2009(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2010(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2011(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2012(5)
引证文献(2)
二级引证文献(3)
2013(4)
引证文献(0)
二级引证文献(4)
2014(4)
引证文献(1)
二级引证文献(3)
2015(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2016(2)
引证文献(1)
二级引证文献(1)
2017(5)
引证文献(1)
二级引证文献(4)
2018(6)
引证文献(0)
二级引证文献(6)
2019(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
悬臂梁法
微构件
弹性模量
MEMS
纳米压入仪
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
稀有金属材料与工程
主办单位:
中国有色金属学会
中国材料研究学会
西北有色金属研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-185X
CN:
61-1154/TG
开本:
大16开
出版地:
西安市51号信箱
邮发代号:
52-172
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
12492
总下载数(次)
15
总被引数(次)
83844
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