CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征

• 作者: 吴建生 姜传海 程凡雄
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: CoSi2薄膜材料 二维X射线衍射 线形分析
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 487-490
• 页数: 4页
• 分类号: TG115
• 字数: 2650字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2005.05.007

摘要

利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴建生	上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室	141	1402	19.0	30.0
2	姜传海	上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室	46	243	9.0	13.0
3	程凡雄	上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室	4	4	1.0	1.0